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甩胶机的工艺过程有哪些?

发布时间:2020-04-26 点击量:28
 
  甩胶机,顾名思义,就是利用旋转产生的离心力原理,将胶液均匀甩开,平铺到材料表面的一种机械装置。常见于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域,例如半导体材料研发和制备工艺,生物材料物性分析,化工材料薄膜的制备工艺等等。
  虽然每个工程师的要求不完全一样,但是旋涂过程大致可分为四个不同的阶段:
  1.将胶液滴注在基底材料的表面。这可以通过使用一个注射器喷嘴,将待涂覆的溶液或者胶液喷洒或者滴注到材料表面。滴注的胶液量通常要要远远超过最终涂覆在表面的胶液量;
  2.通过极快极短地加速,是的基底材料的旋转速度到设定的期望的理想转速;
  3.以设定恒定的速率和时长旋转基底,通过改变胶液的黏度力来改变薄膜的厚度;
  4.以设定恒定的速率和时长旋转基底,通过胶液的挥发性来改变薄膜的厚度;
  许多基底材料都可以用来涂覆,但是应用得最多的基底一般是一英寸见方的玻璃基底(如ITO玻璃)取自于实验室用的载玻片。甩胶前,胶液需要经过滤来去除杂质,通常用0.45微米的过滤器。通常旋涂应该考虑在超净间(10级或100级)中进行,大多数旋涂是在通风橱里,载玻片被放置在旋转托盘上,通过注射器滴管将胶液滴下。大致有两个转速范围,首先通过500~1000RPM的转速,旋转5~10秒钟,使胶液得以平铺开,而胶液厚度主要通过第二阶段的速度变化来控制,一般转速在1500RPM~6000RPM,旋转时长从几秒钟到几分钟,如此既可以得到几百个纳米到数十个微米之间的均匀薄膜。